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邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |

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閱讀:108 發(fā)布時間:2020/11/11
雙臂機器人可實現(xiàn)高精度閃電快速傳輸晶片,,并結(jié)合預對準器,可檢測透明基板,,不僅適用于硅片,,還適用于多種化合物半導體材料,。NXQ8000對準平臺采用了ZX的線性運動技術,。借助編碼器反饋回路測量實際載物臺位置(而非電機位置),視覺系統(tǒng)不受硬件限制,,允許對準精度小于0.5um 3 sigma,。配備5倍物鏡的Quadcam顯微鏡,將放大倍率,,視野和焦深完美結(jié)合,。是微電子,LED,,3D IC,,MEMS,微流控,,太陽能和光電應用的理想選擇,。